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GB/T 26112-2010微机电系统（MEMS）技术　微机械量评定总则

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：17
GB/T 26113-2010微机电系统（MEMS）技术　微几何量评定总则

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：43
GB/T 28274-2012硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：26
GB/T 28275-2012硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：47
GB/T 28277-2012硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：32
GB/T 32814-2016硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：17
GB/T 32815-2016硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：17
GB/T 32816-2016硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：16
GB/T 33922-2017MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：33
GB/T 33929-2017MEMS高g值加速度传感器性能试验方法

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：32
GB/T 34893-2017微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：17
GB/T 34894-2017微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：20
GB/T 34898-2017微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：26
GB/T 34899-2017微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：42
GB/T 34900-2017微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法

发布时间：2025-07-19 13:02:25 浏览量：17
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