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GB/T 12842-1991膜集成电路和混和膜集成电路术语
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 14031-1992半导体集成电路模拟锁相环测试方法的基本原理
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 14032-1992半导体集成电路数字锁相环测试方法的基本原理
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 15138-1994膜集成电路和混合集成电路外形尺寸
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 26112-2010微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 26113-2010微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 28274-2012硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 28275-2012硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 28277-2012硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 32814-2016硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 32815-2016硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 32816-2016硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 33922-2017MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 33929-2017MEMS高g值加速度传感器性能试验方法
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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GB/T 34893-2017微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
发布时间:2025-07-19 13:02:25
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